RIE反應(yīng)離子刻蝕機(jī)  

NRE-3000 反應(yīng)離子刻蝕機(jī)概述：獨(dú)立式RIE反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)，淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品.具有不銹鋼柜子以及13"的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個(gè)端口:一個(gè)帶有2"的視窗,另一個(gè)空置用于診斷.該系統(tǒng)可以支持大到12"的晶圓片。腔體為超凈設(shè)計(jì)，并且根據(jù)配套的真空泵可以達(dá)到10-6Torr或更小的極限真空。該系統(tǒng)系統(tǒng)可以在20mTorr到8Torr之間的真空下工作。真空泵組包含一個(gè)節(jié)流閥,一個(gè)250l/s的渦輪分子泵,濾網(wǎng)過濾器,以及一個(gè)10cfm的機(jī)械泵(帶Formblin泵油).RF射頻功率通過600W,13.56MHz的電源和自動(dòng)調(diào)諧器提供。系統(tǒng)將持續(xù)監(jiān)控直流自偏壓,該自偏壓可以高達(dá)-500V.這對于各向異性的刻蝕至關(guān)重要。  

NRE-3000反應(yīng)離子刻蝕機(jī)是基于PC控制的全自動(dòng)系統(tǒng).系統(tǒng)真空壓力及DC直流偏壓將以圖形格式實(shí)時(shí)顯示,流量及功率則以數(shù)字形式實(shí)時(shí)顯示.系統(tǒng)提供密碼保護(hù)的四級(jí)訪問功能:操作員級(jí)、工程師級(jí)、工藝人員級(jí),以及維護(hù)人員級(jí).允許半自動(dòng)模式(工程師模式)、寫程序模式(工藝模式),和全自動(dòng)執(zhí)行程序模式(操作模式)運(yùn)行系統(tǒng)。基于全自動(dòng)的控制，該系統(tǒng)具有高度的可重復(fù)性。  

產(chǎn)品特點(diǎn)：  

鋁質(zhì)腔體或不銹鋼腔體  

不銹鋼立柜  

能夠刻蝕硅的化合物(~400?/min)以及金屬  

典型的硅刻蝕速率，400?/min  

高達(dá)12"的陽極氧化鋁RF樣品臺(tái)  

水冷及加熱的RF樣品臺(tái)  

大的自偏壓  

淋浴頭氣流分布  

極限真空5x10-7Torr，20分鐘內(nèi)可以達(dá)到10-6Torr級(jí)別  

渦輪分子泵  

至多支持4個(gè)MFC  

無繞曲氣體管路  

自動(dòng)下游壓力控制  

終點(diǎn)監(jiān)測  

氣動(dòng)升降頂蓋  

手動(dòng)上下載片  

基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制  

菜單驅(qū)動(dòng)，4級(jí)密碼訪問保護(hù)  

*的安全聯(lián)鎖  

可選ICP離子源以及低溫冷卻樣品臺(tái)，用于深硅刻蝕  

NRE-3000 反應(yīng)離子刻蝕機(jī)型號(hào)：  

NRE-4000：基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的獨(dú)立式系統(tǒng)，占地面積26“Dx44"W  

NRE-3500：基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的緊湊型獨(dú)立式系統(tǒng)，占地面積26“Dx26"W  

NRE-3000：基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的臺(tái)式系統(tǒng)，占地面積26“Dx26"W  

NRP-4000：RIE/PECVD雙系統(tǒng)  

NDR-4000：深RIE刻蝕(深硅刻蝕)系統(tǒng)